罗茨真空泵的性能一直以来都没有严格区分,即使在国外也大都如此,哪一些是泵本身的特征性能,哪一些是除了本身的因素外还在很大程度上取决于前级泵的性能,也即是罗茨泵机组的性能。以至于一些是泵本身的特征性能没有去充分考核,而一些应该属于罗茨泵机组的性能却作为罗茨泵的性能在考核,虽然这种情况不断在改进。此外,罗茨泵性能的测量方法也有待改进、有所创新,使它更接近、更符合实际运行状态。
1、基础压力
一直以来所有真空泵都有一个非常重要的性能指标———极限压力,但极限压力对真空泵而言其实并不十分确切,正如ISO21360-1所指出的那样:极限压力是测试罩内渐近的压力值,它是泵可获得的最低压力,但没有一个实际的测量方法或规范。也就是说,它是一个无限的渐近的值,它永远也达不到所谓的极限和最低,是一个无法测量的值。ISO21360-1提出了一个新概念—基础压力,但它并没有给基础压力提出一个确切的定义,我们认为可以这样定义:基础压力———泵按规定条件工作,在不引入气体的情况下,标准测试罩内趋向稳定的压力,单位为Pa。与极限压力的定义相比较,基础压力的定义中取消了“最低”,也就没有了极限的含义。这是一个可以测量的值,我们认为所有真空泵都应该将性能指标中的“极限压力”修改为“基础压力”,尤其是单独使用的、直接排大气的真空泵,如滑阀泵、旋片泵、液环泵、活塞泵、涡旋泵、爪式泵、湿式罗茨泵和气冷式罗茨泵等等。基础压力对罗茨泵而言,并不是罗茨泵本身的特征性能指标,它在很大的程度上取决于前级泵的类型(基础压力)和温度,因此在标注泵的基础压力时,必须同时注明所配置的前级泵类型。过去曾一度认为,我们罗茨泵的基础压力始终不如国外的好,后来查明是因为当时作为前级泵的旋片泵质量不是最好,更换上质量好的前级泵,罗茨泵的基础压力就完全达到了国外泵的先进水平,这就充分说明基础压力并不是罗茨泵本身的特征性能。考虑到基础压力比较直观,生产厂商和用户的习惯,改变和认识还需要一个过程,这次罗茨泵新标准中仍将基础压力列入主要性能指标。
2、漏率
真正代表罗茨泵在这方面的特征性能的是漏率,只要漏率达到了要求,罗茨泵的基础压力就保证能达到要求。由于它与前级泵无关,也基本上不受温度的影响,所以应当将漏率作为罗茨泵的主要性能指标来考核。这次修订罗茨泵标准时,我们已将漏率列入罗茨泵的主要性能指标。至于基础压力,因为不是泵本身的特征性能指标,不应在质量检验时再作为主要性能来考核。漏率的定义是:在规定条件下,一种特定气体通过漏孔的流量,单位为Pa·m3/s。在我们修订的罗茨泵标准中,基本参数中漏率的指标与PFEIFFER公司的指标完全一致,标准中也规定了漏率的测量方法。
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